清洗機(jī)主要由超聲波發(fā)生器和超聲波能量交換器組成。硅片清洗機(jī)半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。碳?xì)淝逑礄C(jī)全自動(dòng)真空碳?xì)淝逑礄C(jī)過程由PLC自動(dòng)控制，設(shè)備生產(chǎn)主線由2真空脫氣超聲波清洗，1個(gè)強(qiáng)力真空超聲波洗，2個(gè)蒸汽洗+真空干燥組成，其工作原理是利用超聲波滲透力強(qiáng)的機(jī)械震動(dòng)力沖擊工件表面并結(jié)合碳?xì)淝逑磩┑幕瘜W(xué)去污作用，在真空狀態(tài)下進(jìn)行全面清洗，使工件表面和盲孔、狹縫干凈。膠塞清洗機(jī)故名思意是清洗膠塞的機(jī)器，一般用作于制藥行業(yè)，隨著GMP的要求越來越高，制藥行業(yè)對(duì)膠塞的清洗越來越重視，膠塞清洗從早的手工清洗，到全自動(dòng)清洗經(jīng)歷了一個(gè)漫長的過程。超聲波轉(zhuǎn)換器是由鎮(zhèn)流陶瓷轉(zhuǎn)換器材料制成的夾層轉(zhuǎn)換器。電場作用下尺寸發(fā)生變化，變頻器在電場作用下產(chǎn)生機(jī)械振動(dòng)。

當(dāng)超聲波振動(dòng)器處于濕狀態(tài)時(shí)，連接到換能器上的插頭可用兆歐計(jì)檢測，其中2針為換能器的正極，3針為換能器的負(fù)極，并與換能器外殼連接。檢查，引腳23之間的絕緣電阻值可以判斷基本情況，一般要求絕緣電阻大于30兆歐。如果絕緣電阻沒有達(dá)到，傳感器通常是潮濕的。整個(gè)傳感器(噴霧箱除外)可放入烤箱，在攝氏100度左右烘干3小時(shí)，或直至電阻正常。

當(dāng)傳感器振子著火，陶瓷材料斷裂時(shí)，可用肉眼和兆歐表進(jìn)行檢測。一般來說，作為應(yīng)急措施，部分損壞的振動(dòng)棒可以在不影響其他振動(dòng)棒正常使用的情況下斷開連接。

傳感器脫膠。我們的傳感器采用了膠結(jié)和螺釘緊固的雙重保證技術(shù)，這在正常情況下是不會(huì)發(fā)生的。由于螺釘?shù)淖饔?，傳感器脫膠后不會(huì)從振動(dòng)表面脫落。一般的判斷方法是用手輕輕搖動(dòng)換能器的尾部，仔細(xì)觀察振動(dòng)面上的膠水。一般超聲波電源在振蕩器脫膠后輸出功率正常。但由于振蕩器與振動(dòng)面連接不良，振動(dòng)面的振動(dòng)效果不好，時(shí)間長了可能會(huì)燒壞振蕩器。振動(dòng)器脫膠的處理方法比較麻煩，只能送回廠家解決。避免振動(dòng)器脫粘的有效方法是在正常使用中注意不要沖擊振動(dòng)表面。